技術(shù)編號：8050319
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及的是一種單晶爐技術(shù)領(lǐng)域的系統(tǒng)，具體是一種單晶爐隔離系統(tǒng)。 背景技術(shù)直拉式單晶爐是一種采用直拉法生產(chǎn)硅單晶棒的設(shè)備。生產(chǎn)時，當(dāng)硅棒拉制成型后，需在上爐筒中冷卻后取出，以避免高溫硅棒暴露于大氣中，影響硅棒質(zhì)量，冷卻時上爐筒需保持真空狀態(tài)。雙上爐筒單晶爐是一種具有兩個上爐筒的直拉式單晶爐。當(dāng)一根硅棒拉制成型并進(jìn)入冷卻階段時，可將相應(yīng)的上爐筒與主隔離閥脫離并偏置，再將另一上爐筒轉(zhuǎn)至拉晶位置后，繼續(xù)生產(chǎn)，以提高效率。此時，被偏置的上爐筒需保持真空狀態(tài)，直到其內(nèi)部的高溫硅棒完成冷卻過程。為使雙上爐筒單晶爐的上...
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