技術(shù)編號(hào):8051509
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導(dǎo)體單晶薄膜液相外延生長(zhǎng)技術(shù),具體指一種可連續(xù)生長(zhǎng)多層膜的防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟,它適用于在生長(zhǎng)剛結(jié)束的高溫下殘留母液仍呈液態(tài),且在該狀態(tài)下需要連續(xù)的在所形成的薄膜上繼續(xù)生長(zhǎng)多層膜的液相外延生長(zhǎng)體系。背景技術(shù)在水平滑動(dòng)液相外延生長(zhǎng)系統(tǒng)中,水平滑移石墨舟的使用十分普遍。一般使用的石墨舟由底座,底板和滑塊三部分組成。但是對(duì)于生長(zhǎng)溫度高,母液流動(dòng)性強(qiáng)的生長(zhǎng)體系, 液相外延生長(zhǎng)過(guò)程中容易發(fā)生母液大面積殘留在薄膜表面的情況,且殘留液不容易被滑塊推走,降溫后殘留母液凝固在薄膜表面,從而降低了外延...
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