技術(shù)編號(hào)：8052550
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及直拉硅單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域，尤其涉及一種。背景技術(shù)直拉硅單晶生長(zhǎng)爐的組成如圖1所示，主要由四部分組成(一)爐體包括石英坩堝7、石墨坩堝8(用來支撐石英坩堝)、加熱器9及隔熱體10、爐體16、保溫罩20，爐體16內(nèi)這些影響傳熱及溫度分布的部件，一般稱為熱場(chǎng)，熱場(chǎng)一般用所用的石英坩堝外徑來表征，石英坩堝一般用其外徑來表示，現(xiàn)在常用的有18英寸、20英寸、 22英寸、M英寸、觀英寸、32英寸的石英坩堝，對(duì)應(yīng)的熱場(chǎng)尺寸分別是18英寸、20英寸、22 英寸、M英寸、觀英寸、32英寸的熱場(chǎng)；(二)單晶提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括...
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