技術編號：8058039
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及硅芯加工輔助設備技術領域，更具體地說，涉及一種硅芯母料用盛載裝置。背景技術多晶硅是制備半導體器件和太陽能電池的原材料，是全球電子工業(yè)及光伏產業(yè)的基石。多晶硅按照純度和用途可分為太陽能級多晶硅和電子級多晶硅。目前制作多晶硅的主要方法是改良西門子法，該法是用硅芯棒作為發(fā)熱和沉積硅的載體，于1050 1150°C下通入三氯氫硅和氫氣，三氯氫硅被氫氣還原成硅并沉積在硅芯棒的表面，硅芯棒最終生長為直徑為100 200mm的硅棒。上述制作多晶硅的方法中采用的硅芯棒是通過用多晶硅棒(硅芯母料)作為原料，在高...
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