技術(shù)編號:8070511
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明的目的在于提供一種,即使在將微細(xì)元件作為對象而動(dòng)作速度高速化的情況下也能夠使吸附位置學(xué)習(xí)功能正常發(fā)揮。能夠?qū)ξ斓纳凋?qū)動(dòng)軸及安裝頭的水平驅(qū)動(dòng)軸的動(dòng)作速度的速度模式進(jìn)行規(guī)定的動(dòng)作模式在以將動(dòng)作時(shí)間在可能的范圍內(nèi)縮短的方式進(jìn)行設(shè)定的通常動(dòng)作模式和將動(dòng)作速度設(shè)定為比通常動(dòng)作模式低的低速動(dòng)作模式之間進(jìn)行切換,在元件取出動(dòng)作中元件的位置偏差超出允許范圍時(shí),由動(dòng)作模式切換部將動(dòng)作模式切換為低速動(dòng)作模式,并且校正元件吸附位置,在切換為低速動(dòng)作模式之后,若處于位置偏差允許范圍內(nèi)就將動(dòng)作模式切換為通常動(dòng)作模式。專利...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲(chǔ)備,不適合論文引用。