技術(shù)編號：80757
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種相對于多個相關(guān)工件上的目標(biāo)位置對多個“刀具”例如激光束或其他射束進(jìn)行定位的裝置和方法，尤其涉及一種用一多級、多頭定位器準(zhǔn)確調(diào)整多個刀具和相關(guān)目標(biāo)位置的定位系統(tǒng)。 發(fā)明背景各種工藝技術(shù)將刀具用于微型機(jī)加工或?qū)D案或材料沉積在工件上目標(biāo)位置的上面。例如，微型鉆頭可用來制成微型電機(jī)的機(jī)架；微型沖頭可用來在薄金屬平板中沖孔；激光器可用來精確地加工或有選擇地蝕刻金屬、晶體或非晶試樣；離子束可用來有選擇地將帶電粒子摻雜到集成電路中。上述所有的方法共有準(zhǔn)確而迅速地將相應(yīng)刀具定位到工件上目標(biāo)位置上的共同要求...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。