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用于生長(zhǎng)石墨烯的mocvd反應(yīng)室的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8075896

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專(zhuān)利摘要本發(fā)明公開(kāi)了一種用于生長(zhǎng)石墨烯的MOCVD反應(yīng)室,主要解決現(xiàn)有外延技術(shù)制備效率低、晶體質(zhì)量差和有效面積小的問(wèn)題。它包括源入口(1),頂板(2),吹掃氣流(3),倒置塔狀噴淋頭(4),石英管(5),凹槽石墨基座(7),電阻加熱裝置(8),排氣口(9),轉(zhuǎn)動(dòng)支架(10),和支撐板(11)。石英管(5)固定在支撐板(6)的上方,頂板(2)位于石英管(5)上方,轉(zhuǎn)動(dòng)支架(10)位于石英管(5)的中間且固定于支撐板(11)上,噴淋頭(4)固定于頂板(2)的下方,吹掃氣流(3)均勻分布在石英管(5)與噴淋頭(4)之間的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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