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一種負(fù)壓擴(kuò)散爐反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)及控制方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8077095

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專利摘要本發(fā)明涉及,其包括尾氣管、真空泵和壓力控制單元;尾氣管接收反應(yīng)腔室排出的尾氣,真空泵的一端通過(guò)第一控制閥與尾氣管的輸出端相連,另一端與排酸管道輸入端相連;其中,第一控制閥只具有完全打開(kāi)或完全關(guān)閉兩種工作狀態(tài);壓力控制單元包括至少一個(gè)壓力傳感器、判斷模塊和執(zhí)行模塊;判斷模塊接收傳感器發(fā)送的壓力檢測(cè)結(jié)果,并與預(yù)定壓力值進(jìn)行比較,得到壓力檢測(cè)結(jié)果值是否需要調(diào)整以及調(diào)整值的信息,執(zhí)行模塊調(diào)整或保持真空泵的抽真空能力。因此,本發(fā)明的負(fù)壓擴(kuò)散爐反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)具有耐腐蝕、高控制精度、低維護(hù)成本和高可靠性及耐用性等優(yōu)...
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