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多晶硅錠及其制備方法和多晶硅片的制作方法技術資料下載

技術編號:8091770

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專利摘要本發(fā)明提供了一種多晶硅錠的制備方法,該方法以拼接鋪設的高純多晶硅料為形核劑,再通過定向凝固法來生產(chǎn)多晶硅錠,該方法形核可控性強,避免了硅料在空隙中部分形核導致位錯增多的問題,能夠有效抑制位錯的增殖,從而獲得高質(zhì)量的多晶硅錠。本發(fā)明同時提供了通過該制備方法獲得的晶粒細小均勻、晶向集中的高質(zhì)量多晶硅錠,以及利用所述多晶硅錠制備獲得的多晶硅片;所述多晶硅片尾部位錯團少,頭部位錯增值少,質(zhì)量優(yōu)良。專利說明多晶娃錠及其制備方法和多晶娃片技術領域[0001]本發(fā)明涉及多晶娃的制造技術,尤其涉及多晶娃淀及其制備方法和多晶...
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