技術(shù)編號：8098308
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明公開了，包括引晶步驟、放肩步驟、轉(zhuǎn)肩步驟、等徑步驟、收尾步驟和控氧步驟。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，本發(fā)明采用降低爐壓加快主泵抽氣速率，增大氬氣流量，更快的帶走SiO揮發(fā)氣體，減少進(jìn)入熔硅中氧的含量；降低單晶生長的坩堝的轉(zhuǎn)速，減緩熔硅與石英坩堝反應(yīng)，減少進(jìn)入熔硅中氧的含量，從而減少進(jìn)入單晶中氧含量，從根源上降低P型單晶氧施主效應(yīng)；增大籽晶的轉(zhuǎn)速，加快結(jié)晶潛熱釋放，提高冷卻速度，讓單晶快速通過氧施主形成區(qū)域，降低氧施主效應(yīng)。專利說明 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本發(fā)明涉及一種單晶的生產(chǎn)方法，特別是涉及。背景技術(shù)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。