技術(shù)編號：8099979
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明公開了一種用于MOCVD設(shè)備的托盤，包括盤體(10)和覆蓋于盤體的該上表面的托蓋(20)，盤體(10)呈一扁圓柱形，其上表面為平整面。盤體可由石墨材料形成，上表面覆蓋有一層碳化硅保護(hù)層托蓋的上表面設(shè)置有凹槽，所述凹槽(21)用于容納進(jìn)行MOCVD工藝的襯底。托蓋可由石英材料形成。本發(fā)明具有改善MOCVD設(shè)備中的石墨托盤的使用壽命及其適用性，使之能適用于不同尺寸、形狀的襯底優(yōu)點。專利說明MOCVD設(shè)備的石墨托盤 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及MOCVD的設(shè)備，特別是一種用于...
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