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液體過(guò)濾用過(guò)濾器濾材及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):81160

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種可以分離捕集液體中含有的微粒的液體過(guò)濾用過(guò)濾器濾材及濾材的制備方法。更詳細(xì)而言,本發(fā)明涉及一種用于高效地除去加工屑、得到凈化液體的濾材及此濾材的制備方法,所述加工屑存在于用于金屬的刻模、切斷加工等的線電極電火花加工機(jī)床的加工液中或在IC生產(chǎn)中基盤(pán)晶圓的切斷、研磨、浸蝕等工序中所用的超純水中。 背景技術(shù)目前,將利用線電極電火花加工機(jī)床進(jìn)行加工應(yīng)用于金屬的刻模、切斷加工等。使用線電極電火花加工機(jī)床進(jìn)行加工時(shí),加工屑懸浮在加工液中,為了除去此加工屑,分離凈化的液體與加工屑,設(shè)置了組裝有經(jīng)折褶加工的濾...
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