技術編號：8117797
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及一種。 背景技術現(xiàn)有腐蝕液溫度較低，導致圓片腐蝕效率比較低，若提高溫度，則產生過腐蝕，合 格率又降低。發(fā)明內容本發(fā)明目的是針對現(xiàn)有技術存在的缺陷提供一種。本發(fā)明為實現(xiàn)上述目的，采用如下技術方案本發(fā)明，通過加熱絲將腐蝕液溫度控制在36 40°C，然 后將圓片放入腐蝕液內腐蝕8 12分鐘，最后將圓片烘干，其中，所述腐蝕液為NH4F,所述 圓片為氧化后的硅片。本發(fā)明減少了腐蝕時間，提高了生產效率，并且減少了腐蝕線條的毛刺，提高了化 學試劑的活性。具體實施例方式實施例1 通過加熱絲將腐蝕液溫度控制在40°...
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