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單晶爐的制作方法技術資料下載

技術編號:8118698

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專利摘要本實用新型公開了一種能夠很方便的將石英坩堝的中心與籽晶棒的中軸線對準的單晶爐。該單晶爐,包括上爐膛、下爐膛,所述上爐膛頂部設置有籽晶旋轉提升機構,下爐膛內設置有保溫筒,保溫筒內設置有石墨坩堝,所述石墨坩堝內設有石英坩堝,石墨坩堝外側設置有加熱器,所述石墨坩堝底部設置有坩堝旋轉頂升機構,所述石墨坩堝與坩堝旋轉頂升機構設置有圓形的石墨托板,通過在石墨托板的上表面設置與石墨坩堝底部相適配的凹槽,所述石墨托板的外側套設有限位擋圈,限位擋圈與凹槽共同限制了石墨坩堝的放置位置,因而,放置好的石墨坩堝的中心自然就與籽晶棒...
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