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一種晶圓運(yùn)輸車的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8119724

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及晶圓運(yùn)輸裝置,特別涉及一種具有活動(dòng)擱板的晶圓運(yùn)輸車。技術(shù)背景隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸,用于放置晶圓的前開(kāi)式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越來(lái)越大,使得晶盒的重量不斷增加, 一個(gè)載滿晶圓的FOUP的重量約為9.8Kg。如果這些物料都是自動(dòng)作業(yè)的話,那么這種尺寸及重 量的增加可能不會(huì)引起任何重大的人體生物工程風(fēng)險(xiǎn)。但是,全自動(dòng)化作業(yè)是 不能完全實(shí)現(xiàn)的,因此不可避免地還是存在人工搬運(yùn)的情況,例如芯片測(cè)量、 將晶盒搬運(yùn)到人工貨架等環(huán)節(jié)。隨著越來(lái)越多的芯片制造商往亞洲轉(zhuǎn)移,而多 數(shù)作業(yè)人員為女性...
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