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射頻自動(dòng)阻抗匹配方法及射頻自動(dòng)阻抗匹配器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8120009

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及阻抗匹配技術(shù),特別涉及一種射頻自動(dòng)阻抗匹配方法及射頻自動(dòng)阻抗匹配器。背景技術(shù)在典型的射頻(RF, Radio Frequency)等離子體發(fā)生裝置中,恒定輸出阻抗的RF發(fā)生器產(chǎn)生固定頻率的RF波,為等離子體腔室提供RF功率,以激發(fā)產(chǎn)生用于刻蝕或用于其它工藝的等離子體。其中,RF發(fā)生器的恒定輸出阻抗通常為50Q,產(chǎn)生的固定頻率通常為13.56MHz。通常情況下,等離子體腔室的非線性負(fù)載阻抗與RF發(fā)生器的恒定輸出阻抗并不相等,所以,在RF發(fā)生器與等離子體腔室之間會(huì)存在比較嚴(yán)重的阻抗失配,從而使得位于R...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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