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單晶爐副室清潔桿的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8133985

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種用于清潔單晶爐副室的裝置。背景技術(shù)提拉法晶體生長(zhǎng)方法是獲取單晶的主要方法之一。它的工作原理是,首先將原料 熔化,然后在合適的溫度下將籽晶從上面接觸到熔體的液面,然后將籽晶慢慢上拉。在晶體 上拉的同時(shí)控制熔體的溫度,熔體在籽晶下面不斷凝固,形成晶體并不斷從液面拉出。單晶 爐是目前提拉法晶體生長(zhǎng)中最重要的設(shè)備,用單晶爐來(lái)拉制晶體,單晶生長(zhǎng)速度快,容易實(shí) 現(xiàn)人工控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。 現(xiàn)有單晶爐的結(jié)構(gòu)如圖1所示,其主要由副室A和主室B組成。主室B為硅原料 的加熱反應(yīng)室,副室A內(nèi)設(shè)置有用于提...
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