技術(shù)編號：8136995
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明總體上涉及定向固化爐，并且更具體地，涉及用于將惰性氣體流引入爐中的裝置和方法。背景技術(shù)定向固化爐經(jīng)常用于生產(chǎn)多晶硅晶錠。首先，將原料硅加載到石英坩堝中。硅可以為固體塊、回收的多晶硅、硅粉或它們的組合的形式。坩堝典型地由石英或能夠耐受高溫并且同時基本保持惰性的其它合適材料制成。坩堝典型地為五邊箱體，該箱體的頂部通到爐中的氣氛。石英坩堝被石墨支承壁支承，該石墨支承壁為坩堝增加了結(jié)構(gòu)剛性。在已向坩堝填充硅之后，相對于外部周圍環(huán)境密封圍繞坩堝的區(qū)域。為了有助于將坩堝與外部環(huán)境隔開，將坩堝安置在形成爐的一部分的...
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