技術(shù)編號：8137265
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種借助于電操作的放電來生成光學輻射，特別是EUV輻射或軟X射線的方法和裝置，其中在放電空間中至少兩個電極之間在氣態(tài)介質(zhì)中點燃等離子體，所述等離子體發(fā)出待生成的所述輻射，且其中所述氣態(tài)介質(zhì)至少部分地由液態(tài)材料產(chǎn)生，液態(tài)材料被施加到在放電空間中移動的一個或幾個表面上且至少部分地由一個或幾個脈動能量束蒸發(fā)。這樣的基于放電的光源當發(fā)出EUV輻射或軟X射線(特別是在大約Inm與20nm 之間的波長范圍中)時，主要在EUV光刻和計量學領(lǐng)域中成為所需。背景技術(shù)在上述類型的光源中，輻射從脈動電流所產(chǎn)生的熱等離子...
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