技術(shù)編號：8139391
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，尤其是安裝在一個平面支架上的多個等離子體噴口向外噴射等離子體束流的系統(tǒng)。背景技術(shù)常壓等離子體技術(shù)是在近年才迅速發(fā)展起來的、并已得到廣泛應(yīng)用的新技術(shù)，它可應(yīng)用于(1)表面清洗(例如清洗表面生化污染、表面有機污染)。( 材料表面的改性。表面消毒和滅菌等等。在傳統(tǒng)上，常壓等離子體一般是采用高頻高壓放電，電源輸出電壓高，所產(chǎn)生的等離子體是絲狀放電，不能產(chǎn)生輝光放電，不適合對敏感材料的表面處理等；另外，常壓輝光等離子體噴槍一般所采用的電源是13. 56MHz，該種電源體積大，價...
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