技術(shù)編號(hào)：8143785
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及到半導(dǎo)體材料制備工藝中碲鎘汞垂直液相外延工藝，具體涉及一種碲 鎘汞垂直液相外延生長(zhǎng)工藝中起始生長(zhǎng)溫度的精確控制方法，它主要用于II-VI族碲鎘汞 垂直液相外延材料的制備，進(jìn)而用于高性能紅外焦平面器件的制造和紅外探測(cè)技術(shù)。背景技術(shù)碲鎘汞外延材料是一種優(yōu)秀的用于紅外探測(cè)器材料，在國(guó)防和天氣預(yù)報(bào)及其它領(lǐng) 域發(fā)揮著巨大的作用。垂直液相外延是一種碲鎘汞外延材料的生長(zhǎng)方法。圖1是垂直浸漬式液相外延設(shè)備的原理圖，該設(shè)備一般由石英管作為生長(zhǎng)腔體， 其它所有生長(zhǎng)有關(guān)部件在生長(zhǎng)腔體內(nèi)，加熱模塊用于控制生長(zhǎng)溫度，進(jìn)氣管...
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