技術(shù)編號：8147175
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及陶瓷加熱器，尤其涉及半導(dǎo)體和液晶產(chǎn)品制造中，使用的CVD裝置、等離子體CVD裝置、蝕刻裝置以及等離子體蝕刻裝置中用到的陶瓷基座加熱器。按照以下方法制成一內(nèi)部設(shè)置有前述的加熱器的由陶瓷制成的固定晶片元件燒結(jié)氮化鋁，安裝一個(gè)鉬線圈，通過將鉬線圈鑲嵌進(jìn)凹槽(比如通過一盤狀的氮化鋁盤)，用另外一個(gè)同樣的氮化鋁盤與其形成夾層，并用熱壓機(jī)燒結(jié)該夾層。由陶瓷制成的內(nèi)部帶有加熱器的固定晶片元件，(例如陶瓷基座)，加熱器的組成成分電阻加熱元件相對于制作硅晶片的半導(dǎo)體材料或液晶材料而言被看作是雜質(zhì)，甚至是痕量，其可以...
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