技術(shù)編號(hào)：8147533
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及多晶硅生產(chǎn)中氮化硅的收集平 臺(tái)。技術(shù)背景現(xiàn)有多晶硅生產(chǎn)工藝中，裝料進(jìn)爐時(shí)，放置多晶硅原料使用的是石英坩堝，石英坩 堝需要進(jìn)行氮化硅的噴涂，在噴涂時(shí)，是用噴槍將氮化硅均勻地噴涂在堝體上。由于噴涂過 程難免會(huì)有顆粒降落在目標(biāo)以外，氮化硅原料是很貴重的，目前的市場(chǎng)價(jià)為1800元/公斤 左右，因此，多晶硅生產(chǎn)廠家均會(huì)對(duì)顆粒進(jìn)行回收利用，而目前尚未見到專用的收集器。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種氮化硅收集平臺(tái)，它可方便地回收氮化硅，同時(shí)保 證回收氮化硅的潔凈度符合回收利...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。