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臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8148931

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種冷卻結(jié)構(gòu),具體地說(shuō)是涉及一種適用于臥式多晶硅還原爐的 爐體冷卻結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)傳統(tǒng)的多晶硅還原反應(yīng)爐通常都是采用立式還原爐,常用有18對(duì)棒,9對(duì)棒,它們 的直徑都小于1600mm,爐體冷卻的換熱方式通常都是夾套換熱,通常采用以水為換熱介質(zhì) 的簡(jiǎn)單水冷冷卻結(jié)構(gòu)。中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?00810204124. 6公開了一種新型臥式多晶硅還原 爐,其相比傳統(tǒng)立式多晶硅還原爐具有容易擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模,縮短生產(chǎn)周期,節(jié)約生產(chǎn)成本, 提高成品率和生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。然而,由于臥式多晶硅還原爐的爐體的中心軸線沿水平方 ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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