技術(shù)編號(hào)：8154254
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于晶體硅太陽(yáng)能電池制絨設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶體硅太陽(yáng)能電池RIE制絨裝置。背景技術(shù)太陽(yáng)能作為一種綠色能源，以其取之不竭、無(wú)污染、不受地域資源限制等優(yōu)點(diǎn)越來(lái)越受到人們的重視。在太陽(yáng)電池的研制歷程中曾使用過(guò)各種半導(dǎo)體，硅是其中最重要的一種。按豐度排列.硅是地球上第二大元素。硅是單元素半導(dǎo)體，無(wú)毒，廢棄硅對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染。因此硅至今仍是太陽(yáng)電池的最佳選用材料。在太陽(yáng)能電池的制造工藝流程中，RIE制絨逐漸成為降低晶體硅表面反射率，提高陷光效果的重要方法，尤其是在多晶硅方面，大大的減少了硅的表面反射率，提...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。