技術(shù)編號(hào)：8156154
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種內(nèi)部具有高純度的石英玻璃坩鍋及其制造方法，其中所述石英玻璃坩鍋用于由熔融硅拉制用于半導(dǎo)體等的單晶硅。另外，本發(fā)明還涉及使用了所述石英玻璃坩鍋的拉制方法。背景技術(shù) 天然石英都含有少量的堿金屬。在將含所述堿金屬的石英玻璃用作半導(dǎo)體工業(yè)等的熱處理物質(zhì)時(shí)，這種物質(zhì)容易變形或反玻璃化。此外，在將石英玻璃坩鍋用于拉制單晶硅的情況下，存在以下問題單晶硅的質(zhì)量受坩鍋內(nèi)所含的諸如堿金屬之類雜質(zhì)的影響。就解決這類問題的手段而言，人們已經(jīng)提出了這樣一種石英坩鍋，其中在坩鍋內(nèi)部形成高純度的合成石英玻璃層，在坩鍋外部形...
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