技術(shù)編號(hào)：8164154
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種成膜裝置、成膜方法、利用該成膜裝置或成膜方法形成的有機(jī)EL(電致發(fā)光)元件、使用該成膜裝置或成膜方法的有機(jī)EL的制造方法。背景技術(shù) 在蒸鍍、濺射等成膜裝置中通常使用單一的固定成膜源，但相對(duì)面積較大的基板，需要通過增大成膜源的規(guī)模或使基板和成膜源離開距離來擴(kuò)大成膜區(qū)域，由此造成成膜裝置大型化、所形成的膜的圖形精度下降的問題。近年來，作為自身發(fā)光型薄型顯示元件或面發(fā)光源，在顯示器或照明領(lǐng)域備受矚目的有機(jī)EL元件具有如下基本結(jié)構(gòu)，在基板上形成下部電極，在其上形成由有機(jī)化合物構(gòu)成的有機(jī)功能層的薄膜，再...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。