技術(shù)編號：8170315
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及加熱處理晶片或顯示器面板等的基板的光照射式的加熱單元。背景技術(shù) 以往，在處理半導(dǎo)體晶片的過程中，使用退火處理或成膜處理、濺鍍處理等各種加熱處理。另外，不單是晶片的處理，在制造顯示器面板用的玻璃基板處理過程中，也會進(jìn)行加熱處理。作為進(jìn)行此種加熱處理的裝置的加熱單元，使用將護(hù)套式加熱器或碳管加熱器作為加熱部分而使用的加熱單元。另外，加熱部分也有使用高效地放射紅外線的鹵素?zé)舻墓庹丈涫降募訜釂卧?。在加熱玻璃基板的加熱裝置中加熱部分使用燈管的，以日本專利特開平6-260422號公報(bào)所揭示的為所公知。使用燈管...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。