技術(shù)編號：8171330
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域一種預(yù)熱裝置及裝置平移系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及感應(yīng)加熱技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種預(yù)熱裝置及裝置平移系統(tǒng)。背景技術(shù)[0002]利用區(qū)域熔化法生長單晶硅的過程中，區(qū)域熔化單晶生長的多晶硅棒靠高頻感應(yīng)在多晶表面產(chǎn)生渦流(電流)，使多晶硅棒料發(fā)熱而熔化，熔化后的多晶硅熔液沿著多晶硅棒流動，在晶種的引導(dǎo)下慢慢的生長成單晶硅，但是多晶硅棒在常溫下是不導(dǎo)電的，也就是說在常溫下高頻磁場在棒料表面并不能產(chǎn)生渦流使棒料熔化，所以需要對棒料進(jìn)行預(yù)加熱。[0003]現(xiàn)有的對多晶硅棒進(jìn)行預(yù)加熱的方法主要有以下幾種方式[00...
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