技術(shù)編號：8171540
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造設(shè)備，特別是涉及一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置。背景技術(shù)未裝配風(fēng)冷模組或冷凍機臺的探針臺一般從高溫(85°C左右)降溫至室溫需要耗時120分鐘左右(具體時間視機臺型號和環(huán)境溫度而略有區(qū)別)。而安裝風(fēng)冷模組或冷凍機臺會涉及一定的成本，故普通配置的探針臺的高溫切換到常溫時，都需要通過靜置方式緩慢降溫，時間成本被大量浪費。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，能加速探針臺從高溫降溫至室溫。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的一種探針臺...
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