技術(shù)編號：8177676
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種連續(xù)加料娃單晶爐。背景技術(shù)硅單晶被廣泛用于半導(dǎo)體和光伏行業(yè)。硅單晶棒的生產(chǎn)流程如下將盛有硅原料的石英坩堝放置在硅單晶提拉生長爐中；生長爐抽真空，并加熱至硅原料融化；在合適的溫度下，將籽晶從上面慢慢靠近熔體液面，并與其接觸；籽晶按工藝要求逐漸上拉。通過控制籽晶拉速和溫度，晶棒從液面上逐漸拉出。在硅單晶生產(chǎn)過程中，一般會在硅原料中加入一定量的其它元素，稱為摻雜，這些元素可以是硼，磷或銻等。不同的摻雜元素有自己的特定分凝系數(shù)。所謂的分凝系數(shù)就是，摻雜元素可以在熔體中全部均勻溶解，形成一定的濃度。...
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