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在3C-SiC襯底上制備石墨烯的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8192371

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種半導(dǎo)體薄膜材料及其制備方法,具體地說(shuō)是以3C-SiC為襯底制備石墨烯的方法。背景技術(shù)石墨烯出現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)室中是在2004年,當(dāng)時(shí),英國(guó)曼徹斯特大學(xué)的兩位科學(xué)家安德烈 杰姆和克斯特亞 諾沃消洛夫發(fā)現(xiàn)他們能用一種非常簡(jiǎn)單的方法得到越來(lái)越薄的石墨薄片。他們從石墨中剝離出石墨片,然后將薄片的兩面粘在一種特殊的膠帶上,撕開膠帶,就能把石墨片一分為二。不斷地這樣操作,于是薄片越來(lái)越薄,最后,他們得到了僅由一層碳原子構(gòu)成的薄片,這就是石墨烯。從這以后,制備石墨烯的新方法層出不窮,但使用最多的...
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