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在采用導模法生長片狀藍寶石過程中抑制氣泡的方法技術資料下載

技術編號:8192775

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技術領域本發(fā)明涉及人造藍寶石技術領域,具體涉及利用導模法生長片狀藍寶石過程中氣泡的控制方法。背景技術藍寶石是一種a -Al2O3的單晶,又稱剛玉。藍寶石晶體具有優(yōu)異的導熱絕緣性、耐化學侵蝕性,其表面高度平滑,有高透過率,可在接近2000°C高溫的條件下工作,因而被廣泛應用于衛(wèi)星空間技術、軍用紅外裝置、高強度激光器的窗口材料以及優(yōu)質(zhì)的光學材料等等。近年來,隨著半導體技術的迅猛發(fā)展,藍寶石以其獨特的晶格結構、優(yōu)異的力學性能、良好的熱學性能成為實際應用的半導體GaNAl2O3發(fā)光二極管(LED)、大規(guī)模集成電路SOI和 ...
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