技術(shù)編號：8195153
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，涉及ー種無耦合運(yùn)動的柔性鉸鏈工作臺，具體涉及ー種基于電致伸縮器件和雙層柔性鉸鏈對稱結(jié)構(gòu)的三維無耦合微位移工作臺。背景技術(shù)微位移技術(shù)是精密機(jī)械與精密儀器的關(guān)鍵技術(shù)之ー，近年來隨著微電子技術(shù)、宇航、生物工程等學(xué)科的發(fā)展而迅速地發(fā)展起來。微位移工作臺在微機(jī)電系統(tǒng)、掃描探測顯微鏡、超精密加工、光學(xué)元件制造以及生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用，具有納米級精度的微位移工作臺是其核心部件。設(shè)計(jì)三維微位移工作臺，關(guān)鍵是解決運(yùn)動耦合問題以及運(yùn)動控制問題，即兩個(gè)方向的驅(qū)動運(yùn)動能各自獨(dú)立且能精確定位。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。