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真空容器內(nèi)光學(xué)平臺(tái)支撐裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8200230

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于光學(xué)精密儀器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種真空內(nèi)高穩(wěn)定光學(xué)平臺(tái)的支撐裝置, 尤其是能隔離真空變形和機(jī)組振動(dòng)對(duì)光學(xué)平臺(tái)的影響。 背景技術(shù)現(xiàn)有的用于真空環(huán)境下光學(xué)平臺(tái),由于直接支撐于真空殼體上,受到抽真空時(shí)殼體的抽 真空變形的影響,以及真空機(jī)組運(yùn)行時(shí)機(jī)組振動(dòng)的影響,使光學(xué)平臺(tái)出現(xiàn)漂移和晃動(dòng);如果 此類(lèi)光學(xué)平臺(tái)對(duì)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性有較高的要求, 一般采取的措施是1)將真空殼體(特別是支撐 光學(xué)平臺(tái)的部位)加厚,并設(shè)置防變形槽;2)在真空殼體與光學(xué)平臺(tái)支撐聯(lián)接部位設(shè)置阻尼 結(jié)構(gòu),降低振動(dòng)的傳遞。以上方法的不足之處在于, ...
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