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一種硅單晶棒的粘棒裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8200610

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種硅單晶棒的粘棒裝置。背景技術(shù)目前,在硅單晶棒切片前,需要把硅單晶棒與工件連接件、襯 板膠粘在一起,通常采用的方法及設(shè)備是先將工件連接件放在一 個(gè)傾斜支架上,并靠在與傾斜支架垂直的檔板上,在工件連接件上 涂好膠水后,將襯板置于其上并靠在與傾斜支架垂直的檔板上,然 后調(diào)節(jié)檔板上的螺栓,使襯板與工件連接件位于同一中軸,接著用 手工將膠水?dāng)D壓均勻,在膠水干燥后再將硅單晶棒重復(fù)上述過(guò)程, 使硅單晶棒與工件連接件、襯板膠粘在一起;采用這種設(shè)備及方法, 一是純手工擠壓膠水,膠水不均勻,且容易偏離中軸位置;二...
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