技術(shù)編號：8207148
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)拉單晶所使用的加熱系統(tǒng)。 背景技術(shù)目前，在現(xiàn)有單晶硅加工過程中，用到的化料設(shè)備就是晶體生長爐，晶體 生長爐包括爐體、爐蓋、坩堝、導(dǎo)流簡、加熱系統(tǒng)，坩堝位于爐體內(nèi)部，加熱 系統(tǒng)中有加熱器，加熱器通過螺栓固定在電極柱上。拉單晶所使用加熱系統(tǒng)中的加熱器是非常重要的石墨件，加熱器的安裝是 由電極螺栓直接固定到電極柱上，而電極螺栓直接裸露在爐膛中，在拉制單晶 過程中由于硅液蒸發(fā)以及滴落在電極螺栓與加熱器上，流到電極螺栓與加熱器 縫隙之間，經(jīng)常出現(xiàn)電極螺栓與加熱器粘連現(xiàn)象，拆卸時極易損壞加熱...
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