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技術(shù)編號(hào)：8224816

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本發(fā)明涉及顯示，尤其涉及一種低溫多晶硅薄膜的制備方法、TFT、陣列 基板及顯示裝置。背景技術(shù) 低溫多晶娃（LowTemperaturePolySilicon，簡稱LTPS)薄膜由于其原子排列規(guī) 貝丨J，載流子迀移率高（10?300cm2/Vs)，應(yīng)用于薄膜晶體管（ThinFilmTransistor，簡稱 TFT)等電子元器件時(shí)，可使TFT具有更高的驅(qū)動(dòng)電流，因此，在TFT的制作工藝中廣泛采用 LTPS薄膜作為TFT的核心結(jié)構(gòu)之一的有源層的材料。 目前，...
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