技術(shù)編號(hào)：8227511
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 從WO 2009/121 438A1已知一種具有照明系統(tǒng)的投射曝光設(shè)備。從DE103 58 225 B3已知EUV光源。已知EUV光源的其它引用發(fā)現(xiàn)于W02009/121 438 A1中。另外，從US 2003/0043359 A1 和 US 5, 896, 438 已知 EUV 照明光學(xué)單元。發(fā)明內(nèi)容[000引本發(fā)明的目的在于發(fā)展一種照明系統(tǒng)，其W基于電子束的抓V光源為基礎(chǔ)進(jìn)行操 作，使得提供了針對(duì)分辨率優(yōu)化的照明而改進(jìn)的輸出光束。 根據(jù)本發(fā)明，該目的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。