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一種噴淋裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8236157

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目前,由于生產(chǎn)加工要求較高,在藥水噴淋處理設(shè)備的工作流程中,需要經(jīng)常對(duì)管道內(nèi)部的殘留藥水進(jìn)行清洗,以確保產(chǎn)品的良率提高,例如,在蝕刻、顯影、腿模等噴淋處理設(shè)備中,藥水噴灑后管道內(nèi)會(huì)殘留藥水,如果長(zhǎng)時(shí)間未開(kāi)機(jī)繼續(xù)噴灑藥水,藥水容易在管道內(nèi)結(jié)晶堵塞,影響下次噴灑藥水沖洗效果。現(xiàn)有的對(duì)管道內(nèi)壁常用的清洗方法是由清潔人員用高壓水槍進(jìn)行噴洗,通過(guò)此種方法通常清洗的效果不佳,并且較多死區(qū),同時(shí)花費(fèi)的清洗時(shí)間長(zhǎng),清洗效率低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種噴淋...
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