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一種iii族半導體發(fā)光器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8248146

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氮化鎵基發(fā)光二極管的發(fā)光效率近些年得到了很大程度上的提高,但外部量子效 率、電流分布均勻性已經(jīng)成為制約發(fā)光二極管性能進一步提高的主要技術(shù)瓶頸。現(xiàn)有技術(shù) 中藍寶石襯底上氮化鎵基發(fā)光二極管會因其P/N型電極均沉積于襯底同一則,其P型電極、 N型電極一般包括線接合焊盤以及線電極,由于N型電極的線接合焊盤要用來焊接金球(金 球直徑一般為75um),因此N型電極線接合焊盤尺寸設計的較大,這樣就導致有源層蝕刻面 積過大。 為了解決藍寶石襯底上氮化鎵基發(fā)光二極管存在有...
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