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一種復合掩膜板及其制作方法技術資料下載

技術編號:8248244

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在OLED (Organic Light-Emitting D1de,有機發(fā)光二極管)制作工藝中,蒸鍍使用的掩膜板(Mask)是在磁性材質上涂覆有機膠I (即非磁性材質),通過刻蝕方式對磁性材質進行開口,使磁性材質成為條狀結構支撐條2,其僅作為強度支撐及磁鐵吸附作用;通過激光在Mask開口區(qū)域對有機膠I進行開口,形成Mask開口 10,該開口用于材料蒸鍍,以滿足ppi (pixel per inch,每英寸像素個數(shù))的要求(如圖1與圖2所示)。磁性材質可為...
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