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SiCV薄膜是一種重要的功能薄膜材料，氧化硅薄膜具有良好的絕緣性、耐磨性、較 低的透濕透氧性、耐化學(xué)性以及良好的透光性，廣泛應(yīng)用在微電子、抗腐蝕、高阻隔包裝、環(huán) 境防護(hù)等領(lǐng)域。在空間環(huán)境防護(hù)的應(yīng)用領(lǐng)域，Si02薄膜由于具有優(yōu)秀的耐輻照、耐原子氧 性能，因而具有很大的應(yīng)用潛力，而在空間環(huán)境下，由于航天器熱控的需求，需要防護(hù)薄膜 具有盡可能低的太陽吸收率。 SiCV薄膜的制備方法有很多種，如磁控濺射、離子束輔助沉積（IBAD)、脈沖激光 沉積（PLD)、電子...
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