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技術(shù)編號：8248254

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在OLED (有機發(fā)光二極管)制作工藝中，隨著蒸鍍基板尺寸的變大，為了保證蒸鍍膜厚度均勻性，同時兼顧到材料利用率的提升，蒸鍍設備使用的蒸發(fā)源已由原來的點源(point source)更換為線性源(linear source)ο如圖1與圖2所示，目前使用的線性源一般由坩禍I和設于坩禍I上方的多個噴嘴2組成，坩禍I與噴嘴2外周緣設有加熱絲3，通過對坩禍I進行加熱，使其中的蒸鍍材料變?yōu)檎羝?，在坩禍I內(nèi)部均勻后蒸汽從噴嘴2噴出至基板上成膜。目前的線性蒸發(fā)源因加熱蒸...
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