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一種提拉法晶體生長(zhǎng)爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8248534

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本發(fā)明屬于提拉法單晶生長(zhǎng)裝置,具體涉及一種提拉法晶體生長(zhǎng)爐,能夠控制爐內(nèi)流場(chǎng)。技術(shù)背景提拉法又稱直拉法,英文簡(jiǎn)稱Cz法,是一種目前最流行的塊狀單晶體生長(zhǎng)技術(shù),傳統(tǒng)的提拉法裝置由加熱系統(tǒng)(加熱、控溫和保溫)、氣氛控制系統(tǒng)(真空、氣路、充氣)、傳動(dòng)系統(tǒng)(提拉、旋轉(zhuǎn))等構(gòu)成。該方法的優(yōu)勢(shì)在于可測(cè)試和觀察生長(zhǎng)界面、定向籽晶、“縮頸”技術(shù)、“收尾“技術(shù)、可旋轉(zhuǎn)坩禍和晶體,因而控制方便,能獲得較快的生長(zhǎng)速率和很高的產(chǎn)品性能均勻性,因而成品率遠(yuǎn)大于其它晶體生長(zhǎng)方式。該方...
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