技術(shù)編號(hào):8248534
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于提拉法單晶生長(zhǎng)裝置,具體涉及一種提拉法晶體生長(zhǎng)爐,能夠控制爐內(nèi)流場(chǎng)。技術(shù)背景提拉法又稱直拉法,英文簡(jiǎn)稱Cz法,是一種目前最流行的塊狀單晶體生長(zhǎng)技術(shù),傳統(tǒng)的提拉法裝置由加熱系統(tǒng)(加熱、控溫和保溫)、氣氛控制系統(tǒng)(真空、氣路、充氣)、傳動(dòng)系統(tǒng)(提拉、旋轉(zhuǎn))等構(gòu)成。該方法的優(yōu)勢(shì)在于可測(cè)試和觀察生長(zhǎng)界面、定向籽晶、“縮頸”技術(shù)、“收尾“技術(shù)、可旋轉(zhuǎn)坩禍和晶體,因而控制方便,能獲得較快的生長(zhǎng)速率和很高的產(chǎn)品性能均勻性,因而成品率遠(yuǎn)大于其它晶體生長(zhǎng)方式。該方...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。