技術(shù)編號：8256589
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 工件臺接片手裝置（Lift-Pin)屬于光刻機工件臺分系統(tǒng)，用于完成工件臺上下工 件(玻璃基板或者硅片）的工作。常見的接片手裝置有氣動或電動驅(qū)動，該機構(gòu)所能達到的 運動加速度及運動精度將直接影響到光刻機的產(chǎn)率。隨著光刻技術(shù)的發(fā)展，對產(chǎn)率以及整 機集成度提出了越來越高的要求，為了提高產(chǎn)率就需要提升工件傳輸?shù)乃俾?，這就對工件 臺中直接參與工件流轉(zhuǎn)的接片手裝置（Lift-Pin)的運動速度和加速度提出了更高要求，在 一定程度上導(dǎo)致其動力執(zhí)行機構(gòu)體積增大，則可能...
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