技術(shù)編號：8280355
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種基于MEMS工藝的腔長可調(diào)光纖F-P應(yīng)變計及成型方法，屬于高精度光纖傳感測量領(lǐng)域。背景技術(shù)在工程測量技術(shù)中，應(yīng)變測量是最為基礎(chǔ)和重要的技術(shù)之一。電阻應(yīng)變測量方法是獲取應(yīng)變試驗數(shù)據(jù)的一種基本傳統(tǒng)手段，然而，電阻應(yīng)變片抗疲勞性能差、零點漂移嚴(yán)重，易受電磁場、溫度、濕度、化學(xué)腐蝕等環(huán)境因素的影響，無法用于長期在線測量，也不能滿足高溫、電磁環(huán)境中精確測量應(yīng)變的需求。近年來，光纖傳感器作為一種新型的測量手段，因其抗干擾性(如電磁場、濕度、化學(xué)腐蝕等)強...
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