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在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中，利用在大致為圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面排列成格子狀的分割預(yù)定線，劃分為多個(gè)區(qū)域，在該劃分的區(qū)域中形成IC、LSI等的器件。進(jìn)而，沿著分割預(yù)定線切割半導(dǎo)體晶片，由此，將形成有器件的區(qū)域分割，制造出各器件。作為沿著分割預(yù)定線來(lái)分割上述半導(dǎo)體晶片的方法，嘗試了如下激光加工方法使用對(duì)晶片具有透射性的波長(zhǎng)的脈沖激光線，將聚光點(diǎn)定位于應(yīng)該分割的區(qū)域的內(nèi)部來(lái)照射脈沖激光線。使用了該激光加工方法的分割方法是如下技術(shù)從晶片的一面?zhèn)龋瑢?duì)晶片具有透射性...
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