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Cu電極保護(hù)膜用NiCu合金靶材以及疊層膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8295288

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專利說(shuō)明 本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2011年8月30日、申請(qǐng)?zhí)枮?01110261494. 5、發(fā)明名稱為"Cu 電極保護(hù)膜用NiCu合金靶材以及疊層膜"的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。 本發(fā)明涉及Cu電極保護(hù)膜用NiCu合金靶材以及疊層膜,具體而言,本發(fā)明涉及用 于形成用作觸摸面板或液晶面板的電極的Cu電極保護(hù)膜的Cu電極保護(hù)膜用NiCu合金靶 材、以及使用該靶材而制造的疊層膜。背景技術(shù) 觸摸面板、以及薄型大畫(huà)面電視等中所使用的液晶面板具有在2塊透明基板之間 封閉有液晶這樣的...
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