技術(shù)編號(hào)：8298383
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中產(chǎn)生電路的光刻膠組合物，此光刻膠使用有機(jī) 硅改性的線性酚醛樹脂，具有比通常的酚醛體系正性光刻膠更高的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度和耐等 離子蝕刻的性能，能在較高的烘烤溫度下保持光刻膠圖形不變化，且在干法蝕刻的過程中 有更高的選擇比。背景技術(shù) 在液晶顯示器行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)中光刻膠用于產(chǎn)生細(xì)微的電路圖形，通過蝕刻將 細(xì)微電路形成于基板上。在目前的行業(yè)中，用于TFT-IXD、TN/STN、LED生產(chǎn)中使用的紫外正 性光刻膠基本以線性酚醛樹脂體系...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。